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智光电气：粤芯半导体采购的荷兰ASML光刻机已搬进主厂房
第一财经 2019-05-27 13:36:41
责编：叶旻珅
智光电气在互动平台上表示，参股公司粤芯半导体采购的是荷兰ASML的光刻机，已于2019年3月中旬搬进粤芯半导体主厂房，目前在做量产前的最后调试准备。光刻机等主设备的顺利进驻，为粤芯半导体量产计划提供了有力保障。
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