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上海光机所:我们国家做光刻的主力军在光刻光源上丨一手

第一财经 2021-06-02 18:09:36

作者:沈清晖    责编:沈清晖

在6月2日的2021浦江创新论坛科技创新青年峰会上,中科院上海光学精密机械研究所研究员田野表示,目前我们国家做光刻的主力军在光刻光源上,我们知道光刻首先得有光源,所以我们在光刻光源上努力攻关,尤其是从准分子的波段推进到13.5纳米的新波段。
上海光机所:我们国家做光刻的主力军在光刻光源上丨一手

在6月2日的2021浦江创新论坛·科技创新青年峰会上,中科院上海光学精密机械研究所研究员田野表示,目前我们国家做光刻的主力军在光刻光源上,我们知道光刻首先得有光源,所以我们在光刻光源上努力攻关,尤其是从准分子的波段推进到13.5纳米的新波段。
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