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16:22【中微公司首台等离子体晶圆切割设备成功交付】据中微公司消息,近日,中微半导体设备(上海)股份有限公司正式发布其全新产品——Primo Matrix®双反应台等离子体晶圆切割设备,并宣布首台设备已顺利付运国内重要集成电路封装客户。