尹志尧：永远“38岁”，开发了“纳米刻蚀机”丨浦东30年•财经30人

尹志尧博士，中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长兼总经理。1944年出生于北京，1967年毕业于中国科技大学化学物理系。1984年获美国加州大学洛杉矶分校物理化学博士后，在硅谷从事半导体行业二十年，参与并领导了国际几代等离子体刻蚀机的研发，成为微观设备领域的“最强大脑”之一。2004年，已经60岁的尹志尧和一批资深的行业专家一起毅然回国创业，创办中微，落户浦东金桥，短时间内就让我国突破了国际刻蚀机的技术垄断，中微的等离子体刻蚀设备已应用于国际先进的14 纳米、7 纳米和 5 纳米生产线。2019年美国VLSI Research将他和英特尔董事长等10名国际领军人物评选为“全球半导体行业明星榜 All Star”。

花甲之年回国创业 头发丝里盖大楼

第一财经：说起您的创业史，很多的朋友都觉得特别好奇，因为您是早期的海外留学生，在硅谷很多著名的企业曾经工作过。为什么到了60岁的时候，您要回国重新创业？

尹志尧：人类的数码时代或智能时代是从上个世纪40年代末、50年代开始的，大概有70年历史了，这个过程中，集成电路及各种微观的器件是最关键的产业，而微观加工的设备又是制造微观器件的基础。这种微观器件的尺度小到人头发丝的几千分之一到上万分之一，相当于在这么小的尺度上盖一个五六十层的楼房，所以非常复杂。在70年里面，人类微观加工的能力不断提高，把微观器件缩小了一万亿倍。可以想象，我们现在用的手机，如果回到五六十年前，这个手机有多大，我算了一下，相当于200万栋五层的大楼，里面全部是电子管。

第一财经：现在想来挺不可思议的。人类可以把方寸之间的精密世界做到细致入“微”。

尹志尧：我在美国硅谷的20年，主要参与了美国和日本几个最成功的设备公司的初期和中期的发展。但是我是一个中国人，在中国得到了很好的教育，也有十多年的生产和研发的工作经验，去美国的时候已经36岁了，我总觉得缺些什么东西，对祖国的欠缺，应该给自己的国家做事情，我们家前面三代都是学成回国报效祖国的，参加了民主革命和社会主义建设，所以我一定要效仿前辈的精神。所以就回国工作了。

第一财经：那为什么最终选择在浦东呢？当初您看到的浦东跟现在看到的浦东有什么区别？

尹志尧：主要是因为浦东的产业环境好，上海政府和浦东政府给了我们大力的支持和帮助。说老实话，我回来的时候很激动，浦东在我回来之前已经有相当的规模和发展，2004年以后，众多的国际公司都在浦东落户，现在像张江都挤得没地方了，要向东发展，向南发展，你看临港，几年时间就起了一个新城，最近的十年会有特别大的发展，我非常看好浦东，看好临港新片区。 我曾写了一个诗句：“硅谷风光好，浦东更辉煌！”。

突破技术垄断 5纳米刻蚀机“剪窗花”

第一财经：您回国创业到现在已经16年时间，16年里遇到了哪些挑战？

尹志尧：其实创业的路都非常坎坷，特别像我们这种做高端的微观加工设备，不是很少的钱、很少的人就可以启动的，所以第一个碰到的问题就是钱的问题，研发经费短缺是永远的痛。做一个像等离子体刻蚀机这样的复杂设备，至少需要10亿，可能到20亿，我们花了不止20亿来开发这个设备，而且它不是只有一代，从14纳米、10纳米、7纳米……要一代一代一直做下去。如果你做两三个设备的话，就需要四五十亿的投入。特别在早期，你就那么十几个人，然后写一个计划书，谁能相信你能做出来？所以融资是一个艰难的过程。

第一财经：对于科创企业来说，对资金和人才永远是饥渴的。

尹志尧：嗯，第二个问题就是人的问题。据我估计，集成电路大概要综合50个学科兵种的知识，才能做出一个精雕细刻的设备。在一个米粒大的面积上，我们要刻一亿个中文字，还要和光刻、薄膜组合工艺，不是光靠等离子体刻蚀机能够完成，需要各方面的支持和配合。所以怎么能够吸引国外的一流专家，尽快培养国内人才也是很有挑战的。在人才问题上，我们从物理、化学、机械、材料、自动化这些专业中招聘年轻有为的学子，经过了十几年的培养，不少人已经成了顶梁柱。当然我们也不断吸引国外的人才。还有一个问题，就是专利的保护和国际上出口限制的控制，是我们一个最大的挑战。我们在开发产品的时候，一定要非常清楚对手的专利和自己的专利保护，这个也做得比较到位。

第一财经：刚才您提到刻蚀机，能否再具体解释一下，刻蚀机在芯片制作当中是如何起作用的？

尹志尧：微观加工就是一层层盖楼房，先得有材料，然后做里面的结构，做好一层再盖下一层。我把它比作女孩子剪窗花，你首先要有个红纸，然后用笔在上面画上花纹，用剪子把不要的东西剪掉。薄膜就相当于那张红纸，有各种不同的材料，光刻机相当于在红纸上面画上花纹和线条，然后等离子体刻蚀机相当于把那些不要的部分去掉，就做成了一层层的结构。光刻机肯定是带头的，是老大，它是通过光波做曝光，但是，即使是极紫外光刻机，所用激光的波长也只能做出14纳米线条，那么10纳米、7纳米、5纳米怎么做的呢？要通过多重模板的办法，把一个20纳米光刻机的线条翻板成两个10纳米的线条，再翻板成5纳米的线条，这个里面并不是用光刻机，是用等离子体刻蚀机和薄膜来做的，所以希望大家知道，这三种工艺缺一不可，而且在14纳米以下，刻蚀机和薄膜的作用越来越重要。

第一财经：这个领域无论是技术还是资金，门槛儿都很高，国际上有非常强大的对手，中微用什么办法去跟他们竞争？

尹志尧：我们必须把目标定在赶超世界最先进水平，而不是只补自己的短板，按照人家那条路再往前走。这样的话永远是落在后面。我们一定要做到两件事：一个叫Innovation，就是创新，第二个要差异化，就是设备产品要与众不同。比如，等离子体刻蚀需要解决等离子源的问题，大家挣扎了20年，没有想到最好的解决办法。我们回国以后提出了一个新的概念，就是用甚高频的和低频的交流射频，全都加在下电极，产生一个叫甚高频去耦合的反应离子刻蚀这样一个概念，这个我们做成了，过了三四年以后，国外公司也按这个方向做，其实这个技术是我们首先开始的。另外，对于机器本身，如何做到输出更快，占地面积更小，成本更低？我们想出一个很巧妙的办法，就是一个反应器用两个反应台同时加工，而且每个反应台可对操作。对方加工一片，我可以加工两片。这需要反应器设计的很多细节，我们做好了。所以国际上一流的晶圆生产厂商已经做到5纳米了，用到我们的刻蚀机，都是这种双台机，这样占地面积小了很多，输出量高了很多，成本也节省很多。

从“单打冠军”到产业破局 浦东硬核出击

第一财经：您觉得中国的集成电路产业该如何来破局？

尹志尧：我觉得必须先知道我们现在主要矛盾是什么。我讲了十年了，我们的主要矛盾叫不对称竞争。如果在四五十年前，我们和全世界同时起步的话，这是对称性竞争，但是现在国际上已经是高度垄断，就凤毛麟角几个大公司，都是百亿甚至几百亿美金产值的公司，比我们同类的公司大几十倍。这种情况下要破局的话，必须把政府的推动和民间的努力合二为一，形成合力，这是唯一的办法。所以基本上三个问题要解决，钱的问题，人的问题，合起来干的问题。我们的政策要适合科创企业的发展，特别是从投融资政策、进出口政策、所得税政策、劳动法政策、上市政策，一系列的政策都可以深入研究、升级、深化、改革，这样产业就会发展。

第一财经：最近几年，我们看到在政策、资本、市场三方合力之下，中国半导体产业的发展速度有目共睹。中微在2019年登陆了科创板，您如何看待这段时间以来的市场表现？

尹志尧：非常欣喜地看到股民也好，政府也好，投资商也好，对我们半导体设备产业特别重视，所以我们公司的市盈率、市销率大概是科创板最高的，我们是第一个达到千亿市值的，但我们真的觉得是压力山大，这种情况下，我们只能拼命做，尽快把公司做大。公司上市，就好像考大学被录取了，进了一个新的平台，但是必须要谦虚谨慎，遵守制度，敬畏市场，做到持续高速、稳定和安全的发展。

第一财经：集成电路产业的攻坚，浦东起到了什么作用？反过来又会对浦东未来的发展起到什么作用？

尹志尧：浦东对我们的支持是全方位的。创业的时候，特别帮我们安排在金桥，提供了很好的一片土地，建设方面也给了我们很多帮助，后期也经常关心我们的成长。最近我们计划在浦东的临港新片区建立一个生产基地和研发基地，在滴水湖西南角盖总部大楼，这些都是在浦东和临港新片区的支持下做的。集成电路产业的攻坚，对于浦东未来的高质量发展我觉得作用也非常大。智能时代的基础是芯片，芯片的基础又是设备，如果把微观加工的半导体设备搞好的话，就会支撑整个产业链的发展，我们自身的发展和浦东的支持都是至关重要的。

第一财经：对于未来的浦东，对于未来的上海，您有什么样的期许？

尹志尧：我充满了信心。中微有幸在上海临港能够落户继续发展，我觉得浦东的前途是无量的。

在互联网产业发展最快的世纪之初，上海没有紧跟“潮流”，而是敢坐十年冷板凳，选择了最硬的“骨头”，倾尽资源支持集成电路的发展。而今，浦东已成为全国集成电路产业最集中、综合技术水平最高、产业链最为完整的地区，2019年全区集成电路产业规模超过1200亿元，占上海71.5%、全国16.1%。中芯、华虹宏力、展讯、锐迪科、芯原、澜起、中微、上海微电子……中国众多集成电路产业链龙头公司汇聚张江。

尹志尧刚回国时，有一次坐出租车，司机对他说：“您看起来只有38岁！”尹志尧一听，爽朗地笑了。如今，永远“38岁”的尹志尧仍然奋战在科研第一线。其实，他何尝不懂岁月不饶人的道理，但他同时也深知时间不等人的现实！

集成电路是电子产业的心脏，高端集成电路装备是国之利器。回头看，这是一条充满艰辛的荆棘之路，往前看，这条路依然困难重重。但没有捷径，唯有坚持，不能停歇。

尹志尧让“中国芯”更进一步。张江，离中国的硅谷更进一步。

撰稿 武斌

编导 康华宁

制作人 陆熠欣

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