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南大光电回复问询函:加速实现ArF光刻胶全产业链进口替代

第一财经 2021-03-03 20:35:07

责编:陆一丹

南大光电回复问询函,本次募投建设的光刻胶项目是国家“02专项”光刻胶技术、产品开发及产业化目标实现的具体举措,其中“ArF光刻胶产品的开发和产业化”系“02专项”规划的光刻胶产品产业化的核心内容,具有重要的战略意义。本次光刻胶项目实施完成后,将助力“02专项”规划目标的实现,并通过技术深化、上游原材料的研发、配套材料的研发及产业化等内容,加速实现ArF光刻胶全产业链进口替代,更好地服务于国家自主可控战略。

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