英杰电气：已批量供应半导体制程环节射频电源 正逐步放量

英杰电气在互动平台表示，公司通过多年与国内半导体设备厂商的研发合作，目前已经研发成功并批量供应半导体制程环节部分型号的射频电源，同时还有多个型号处于不同的在研进程中，量产能力得到加强，射频电源订单正处于逐步放量的趋势中。射频电源以及其他半导体制程环节中的电源产品是未来几年公司保持可持续发展的一个非常重要的产品方向。