汉钟精机：干式螺杆以及多级鲁式和旋片泵系列真空产品已获得SEMI安全基准验证证书

汉钟精机在投资者互动平台回答称，公司的干式螺杆以及多级鲁式和旋片泵系列真空产品，已获得 SEMI 安全基准验证证书，能满足于生产最先进半导体制程工艺以及各种清洁及严苛制程段所需的高真空场景。目前与国内的部分机台商、晶圆厂都有合作，但量还较少，对业绩影响不大。