中微公司发布六款半导体设备新产品

中微公司消息，9月4日，在第十三届半导体设备与核心部件及材料展（CSEAC 2025）上，中微公司宣布推出六款半导体设备新产品。这些设备覆。盖等离子体刻蚀（Etch）、原子层沉积（ALD）及外延（EPI）等关键工艺。