国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台问世，该技术长期被日本公司垄断

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所旗下的长春光华微电子设备工程中心有限公司成功研制出国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台。晶圆探针台是半导体行业重要的检测装备之一。晶圆探针检测过程技术难度极大。“检测过程要求，在0.3秒内，晶圆探针台的几千到几十万根探针分别精准地对应到一个个大小约为头发丝横截面四分之一的Pad盘上。”光华微电子董事长田兴志说。由于探针台技术门槛较高，目前市场处于双强垄断态势，东京电子(TEL)和东京精密(TSK)两家日本公司占据了绝大部分市场份额。光华微电子于2015年正式立项开展12英寸全自动探针台产品研发，2019年起，先后在功率半导体器件、光电探测器、逻辑半导体器件的知名企业进行了样机测试。（科技日报）