业内人士：除了EUV光刻机，中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机

今日中芯国际披露，公司于2月1日与阿斯麦（ASML）上海签订了经修订和重述的阿斯麦批量采购协议，公司已就购买用于生产晶圆的阿斯麦产品（即光刻机）与阿斯麦集团签订购买单，订单金额12亿美元。阿斯麦（ASML）即荷兰阿斯麦，是全球最大的半导体设备制造商之一，主要业务为光刻机的研发和生产，在全球处于绝对领先地位。具体来看，ASML在45nm以下制程的高端光刻机市场中占有85%的份额；在EUV（极紫外）光刻机领域则处于绝对垄断地位，市场占有率100%。

众所周知，EUV光刻机是生产5nm芯片必不可缺的设备。那么，中芯国际此次12亿美元的采购协议都有哪些类型的光刻机，包含EUV光刻机吗？记者从业内资深人士处了解到，除了EUV光刻机，中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机，包括DUV（深紫外）光刻机。

此前，ASML的CFO在财报会议的视频采访中表示：如果宽泛地理解相关规则对AMSL的整体意义，ASML将能够从荷兰向中国客户（包括中芯国际）提供DUV光刻系统，且无需出口许可证。不过，如果涉及直接从美国运往此类客户的零件或系统，ASML则需要为此申请出口许可证。（上海证券报）