至纯科技：半导体设备发力，今年新增订单望超40亿元︱稳链强联典范

第一财经围绕企业的成长轨迹、创新模式、发展路径，从众多上市公司在过去一年的进化实践中寻找“最佳实践案例”。它们或重构自己的核心技术，或升级自己的核心产品，或变革自己的核心用户群，从而创造出为更广阔的成长空间。至纯科技荣获2022年度“最佳实践案例·稳链强联典范”。

半导体设备是半导体产业链的基石，国产半导体设备产业近年加速发展。

至纯科技（603690.SH）是国内半导体清洗设备与高纯工艺系统龙头，同时衍生了电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务业务。2021年该公司半导体设备实现营收7.01亿元，同比增长222.06%；2022年前三季度，至纯所有业务总新增订单总额高达36.21亿元；该公司2022年目标新增订单40亿元，其中湿法设备订单20亿元以上。

上半年半导体设备新增订单超8亿元

据SEMI数据，2021年全球半导体设备销售额1026亿美元，同比增长44%，预计2022年达1175亿美元，同比增长15%；2021年中国大陆半导体设备销售额为296亿美元，同比增长56%。

清洗贯穿半导体全产业链，约占半导体设备份额的5%。清洗设备分为干法清洗设备和湿法清洗设备，湿法清洗设备占比 90%。

全球半导体清洗设备市场集中度较高，2020年清洗设备CR4达94%，国产化前景广阔。目前至纯科技的湿法设备能提供给28nm节点全部湿法工艺的本土供应商，客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为等。

2021年，至纯科技湿法设备业务板块开始发力，持续在已有用户端获得重复订单，全年公司共拿到13位用户的重复订单，并开拓了10位新用户，均为行业内主要的晶圆制造企业。

“至纯非常在意单个用户的复购，高纯工艺系统我们已经有大量的用户复购，湿法设备虽然起步晚，但基于至纯一贯的务实专业的作风，也在往这个趋势去；我们特别关注单个用户全线购买至纯的湿法设备。”至纯科技董事长蒋渊此前在接受第一财经专访时表示。

湿法清洗设备主要包括湿法槽式清洗设备和湿法单片式清洗设备。2021年，至纯科技单片湿法设备和槽式湿法设备出机超97台；12英寸湿法设备新增订单金额超过6亿元，其中单片式湿法设备新增订单金额超过3.8亿元。

2022年上半年，公司新增订单总额为23.62亿元，同比增长37.33%，其中半导体制程设备新增订单8.06亿元，同比增长87.44%，实现收入4.66亿元，同比增长73.09%，毛利率提升11.21个百分点达35.11%。

据悉，到2022年底，至纯科技设备的零部件国产化率预计可达80%左右。此外，至纯科技在合肥布局的晶圆再生及部件清洗项目已通线试产，是国内首条投产的12寸晶圆再生产线，部件清洗项目为国内首条设立完整的阳极产线。

高纯工艺系统收入位居本土供应商前列

泛半导体工艺伴随许多种特殊制程，会用到大量超高纯（ppt级别）的干湿化学品。在集成电路领域，高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。

高纯工艺系统能将制程所需的高纯介质从源头稳定传输至终端设备，同时保证高纯介质不会因吸附气体和水分、脱放气、产生颗粒等原因受到污染，使介质满足生产工艺的纯度要求。下游先进制造行业的高纯工艺系统直接影响了工艺设备的运行及投产后的成品率。

根据ICInsights半导体资本支出数据和SEMI半导体设备市场数据，开源证券测算，高纯系统的搭建占总体固定资产投资的5%-8%。

至纯科技2021年高纯工艺系统业务收入达10.78亿元，位于本土供应商前列，毛利率水平也较高。

多年来至纯积累了一批高端客户和合作伙伴，基本为各行业的领军企业或主要企业，高纯工艺领域如长江存储、上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰微、西安三星、无锡海力士等众多行业一线客户。

此外，至纯科技为国内28纳米工艺节点的集成电路制造厂商提供配套，投资建设了半导体级的大宗气体工厂，2022年初顺利供气。该大宗气体工厂也是首座完全国产化的12英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂。

2022年8月，至纯中标长江存储国家存储器基地项目特殊气体系统包，中标价格为2.76亿元（其中国内设备材料2.32亿元，安装服务0.44亿元）。标的主要内容为各类工艺气体（含用于氧化/扩散、刻蚀、离子注入、沉积等干法工艺）的特气设备，即工艺支持性设备，标的包含设计、安装和调试等服务。

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