ASML年内仍可出口高端浸润式光刻系统 光刻机概念股震荡

9月1日，多个光刻机概念股股价微跌，截至下午2点，雅克科技下跌0.19%，张江高科下跌4.91%，大族激光下跌0.04%，鼎龙股份下跌1.88%，容大感光下跌3.35%，格林达下跌3.48%，苏大维格下跌4.92%。部分个股上涨，同益股份上涨11.46%，怡达股份上涨0.46%，安集科技上涨1.77%，扬帆新材上涨0.13%。

截至下午2点，万得半导体设备概念指数上涨0.33%，万得光刻胶概念指数下跌1.63%。

消息面上，今日荷兰政府颁布的半导体设备出口管制新规正式生效，ASML发运TWINSCAN NXT：2000i及后续推出的浸润式光刻系统都必须获得荷兰当局的许可。新的出口管制条例下，今年年底前ASML仍然能够履行与客户签订的合同，发运这些光刻设备。

ASML同时表示，客户也已知悉出口管制条例所带来的限制，即自2024年1月1日起，ASML将基本不会获得向中国客户发运这些设备的出口许可证。

ASML对第一财经回应称，该公司已向荷兰政府提出TWINSCAN NXT：2000i及后续推出的浸润式光刻系统的出口许可证申请，荷兰政府也已经颁发了截至9月1日所需的许可证，允许ASML今年继续发运TWINSCAN NXT：2000i及后续推出的浸润式光刻系统。

8月底，多个光刻机、光刻胶概念股已连涨数日。8月29日~31日，雅克科技累计上涨13.44%，大族激光累计上涨4.24%，鼎龙股份累计上涨7.15%，扬帆新材累计上涨7.35%，容大感光累计上涨30.9%，安集科技累计上涨21.03%，苏大维格累计上涨18.63%。

光刻机是芯片工艺中最关键也是难度系数最大的环节之一，光刻机的精密程度可决定芯片制程与性能。2003年，ASML推出第一台浸没式光刻机，通过缩短紫外光波长提高光刻精度，使工艺节点从45nm持续往前到7nm。在5nm及以下工艺，EUV（极紫外线）光刻机随后接替了浸润式光刻机，ASML是EUV光刻机唯一供应商。至今，ASML基本垄断了高端光刻机市场。

据中国海关总署数据， 2023年前7个月，国内进口制造半导体器件或集成电路用的机器及装置6357台，金额830.7亿元，金额同比上升12.7%。今年6、7月，进口制造半导体器件或集成电路用的机器及装置的金额增长更猛，同比增长幅度分别达70%、92.5%。

荷兰是国内光刻机主要进口国之一。据集微网统计中国海关总署数据，2022年我国光刻机进口总额39.63亿美元，从荷兰进口额25.48亿美元，占比64.3%。2023年1-7月份，从荷兰进口额为25.86亿美元，同比增长64.8%。

除ASML，佳能、尼康也是主要的光刻机厂商。华金证券统计，2022年ASML、佳能、尼康光刻机销量分别为345、176、38台。其中，ASML可提供EUV光刻机，ASML与尼康均可提供ArFi（浸润式）、ArF光刻机。