我国首次建立基于硅晶格常数溯源的集成电路纳米线宽标准物质

记者今天了解到，市场监管总局近日批准建立平面结构纳米线宽标准物质和立体结构纳米线宽标准物质，打通极小纳米线宽量值向硅晶格常数溯源的计量途径，成为我国集成电路晶体管栅极线宽溯源最精准“标尺”，支撑集成电路制造向极微观尺度迈进，将提升集成电路芯片集成度和性能先进制造水平，有力促进我国集成电路产业发展。（央视新闻）