上海新阳：ArF浸没式光刻胶已取得销售订单

上海新阳在互动平台上表示，公司主要开发括I线、KrF、ArF在内的各类晶圆制造用光刻胶，已实现KrF光刻胶多款产品批量化销售，2024年光刻胶产品整体销售规模持续增加，同比增长超100%，ArF浸没式光刻胶已取得销售订单，迈出了实现产业化的第一步。