首台高功率大宽幅磁控溅射设备在深通过验收

近日，我国首台具有自主知识产权的高功率大宽幅磁控溅射设备在深圳市宝安区劲嘉工业园通过验收。该设备由北京大学深圳研究生院联合劲嘉集团、深圳后浪实验室共同承担研制，其成功验收标志着我国在新能源电池核心装备领域取得重大突破，成为北大“新工科”建设过程中“产学研合作”的标志性成果之一。

该成果获得深圳市技术攻关重大项目支持，首次采用北京大学新材料学院吴忠振团队自主研发的持续高功率磁控溅射技术，成功突破新能源电池用复合集流体生产中的效率与质量瓶颈。作为业界首台可实现复合集流体“一步磁控溅射法”正反双面镀膜（厚度>1μm）的连续生产设备，为我国新能源电池材料产业链自主可控提供了关键技术支撑，其工艺简单、生产效率高，各项性能指标均达设计标准，具备显著市场竞争力。