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两部门:研究集成电路关键工艺参数在线计量方法,开展计量测试评价,形成服务集成电路的计量体系

第一财经 2025-07-09 14:54:47

责编:殷晴妍

两部门:研究集成电路关键工艺参数在线计量方法,开展计量测试评价,形成服务集成电路的计量体系

市场监管总局、工业和信息化部印发《计量支撑产业新质生产力发展行动方案(2025—2030年)》。其中提出,面向集成电路产业发展需求,聚焦集成电路核心计量技术支撑,重点攻克扁平化量值传递等技术难题,突破晶圆级缺陷颗粒计量测试、集成电路参数标准芯片化、3D等先进封装标准物质研制和12英寸晶圆级标准物质研制瓶颈,布局新型原子尺度计量装置、标准和方法创新,围绕几何量、光学、热学、电学等关键参量,突破晶圆温度、真空、气体检测和微振动等集成电路计量技术,研究集成电路关键工艺参数在线计量方法,开展计量测试评价,形成服务集成电路的计量体系。

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