百傲化学：子公司拟投入2.19亿元参与大世代干法刻蚀装备研发

百傲化学晚间公告，控股子公司苏州芯慧联半导体科技有限公司下属公司芯慧联（佛山）半导体科技有限公司拟与国内知名高校、研究机构等共同签订合作研发项目合同书，共同参与开发大世代干法刻蚀装备。佛山芯慧联作为牵头单位，拟投入自有资金2.19亿元。