盛美上海交付首台先进光刻胶固化设备Ultra Lith BK (Baker) 订单

11月19日，盛美上海宣布交付首台来自全球头部显示屏生产商的先进光刻胶固化设备Ultra Lith BK（Baker）订单。该设备专为解决先进光刻工艺中均匀性不足、温度漂移及临界尺寸变异等难题而设计，助力制造商在器件尺寸持续微缩的趋势下，维持稳定的良率与图形保真度。该设备可实现高度稳定且可重复的光刻工艺。