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据悉阿斯麦新一代EUV光刻机已具备量产条件
第一财经 2026-02-27 07:43:59
责编：江雪
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据悉阿斯麦新一代EUV光刻机已具备量产条件
据媒体报道，荷兰光刻设备制造商阿斯麦高管表示，公司新一代极紫外光刻机已准备就绪，芯片制造商可开始将其用于大规模生产。该设备单价约4亿美元，为初代EUV机型的两倍。
阿斯麦首席技术官马尔科·皮特斯称，该设备已累计加工约50万片硅晶圆，停机时间极低，图案精度达到量产标准。（第一财经记者 胡弋杰）
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