中微公司首台等离子体晶圆切割设备成功交付

据中微公司消息，近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司正式发布其全新产品——Primo Matrix®双反应台等离子体晶圆切割设备，并宣布首台设备已顺利付运国内重要集成电路封装客户。