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兴发集团：“超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术”获得国家科学技术进步二等奖
第一财经 2020-01-10 14:33:21
责编：殷晴妍
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1月10日，2019年度国家科学技术奖励大会在北京人民大会堂隆重举行，共评选出296个项目和12名科技专家。兴发集团投资3亿多元、历时10年研发成功、用于芯片制造的“超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术”获得国家科学技术进步二等奖。
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